產(chǎn)品介紹:

硅料磷、硼雜質(zhì)含量測(cè)試儀，其主要用途是對(duì)多晶硅料的包括磷硼含量在內(nèi)的超過75個(gè)元素進(jìn)行分析。


產(chǎn)品特點(diǎn):

■ 干擾少，精密讀高，可以測(cè)量至 ppb 甚至 ppt 級(jí)的微量元素 

■ 測(cè)試范圍廣，可以測(cè)量超過 75 個(gè)以上的元素 

■ 分析速度快，每個(gè)樣品的所有元素 2-6 分鐘 

■ 可同時(shí)分析多種元素 , 尤其適合分析用其它方法難以測(cè)定的元素 

■ 超高靈敏度的元素分析儀器 

■ 能進(jìn)行無人控制操作 

■ 具有痕量檢測(cè)能力 

■ 極低的儀器背景至 0.5-0.05cps 

■ 體積小巧、功能全面 

■ 可迅速獲取同位信息，進(jìn)行半定量分析 

■ 最快的全譜同時(shí)測(cè)量能力和強(qiáng)大的抗干擾能力 

■ 分辨率與靈敏度的最佳配置，優(yōu)異的穩(wěn)定性以及無與倫比的同位素豐度比值測(cè)量精密度 

■ 動(dòng)態(tài)線性范圍達(dá)到 7 個(gè)數(shù)量級(jí)以上 

■ 每一個(gè)樣品中需要測(cè)量的元素?cái)?shù)量多少均不影響樣品分析的整體速度 
 
技術(shù)指標(biāo):

■ 檢出限： ppt 級(jí)

■ 樣品分析能力：多元素分析，可以測(cè)量超過 75 個(gè)以上的元素，每個(gè)樣品的所有元素 2-6 分鐘

■ 測(cè)試范圍：可測(cè)包括 B 、 P 等在內(nèi)的超過 75 個(gè)元素

■ 線性動(dòng)態(tài)范圍： 10的8次方 




推薦工作條件:

■ 室內(nèi)環(huán)境溫度15～30℃；相對(duì)濕度（全天候）不超過60%

■ 室內(nèi)無強(qiáng)磁場(chǎng)干擾；無妨礙儀器正常工作的震動(dòng)

■ 室內(nèi)環(huán)境清潔、干燥、沒有灰塵、無腐蝕性氣體

■ 硅料磷硼含量測(cè)試儀是精密儀器 ，為防止酸、堿及其它腐蝕性氣體、煙霧侵蝕儀器，必須和化學(xué)實(shí)驗(yàn)室分開；儀器光學(xué)系統(tǒng)對(duì)濕度、溫度要求很高，實(shí)驗(yàn)室應(yīng)安裝空調(diào)及去濕設(shè)備





典型用戶:

南玻集團(tuán)、洛陽中硅、新光硅業(yè)等