產(chǎn)品介紹:

    合能陽光的金屬四探頭電阻率方阻測試儀（HS-MPRT-5）是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器.本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的國際及國家標(biāo)準(zhǔn)測試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計。 它主要由電器測量部份（主機(jī)）及四探頭組成，需要時可加配測試架。 為減小體積，本儀器用同一塊數(shù)字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保電阻率測量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1～100Ω?cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測量偏差不超過±3%，在此范圍內(nèi)達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)一級機(jī)的水平。



產(chǎn)品特點：

■ 采用金屬探頭，游移率小，穩(wěn)定性高

■ 儀器采用220V交流電源供電

■ 適用于西門子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)

■ 適用于物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)

■ 適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導(dǎo)體器件企業(yè)

■ 具有抗強(qiáng)磁場和抗高頻設(shè)備的性能



技術(shù)指標(biāo)：

■ 電阻率：0.01～199.9Ω?cm

■ 方塊電阻：0.1～1999Ω/口

■ 直流數(shù)字電壓表  測量范圍：0～199.9mv

                                 靈敏度：100μv 準(zhǔn)確度：0.2%（±2個字）W

■ 電源： AC 220V ± 10% ， 50HZ?cm

■ 功耗：最大功耗 ≤10W ，平均功耗≈ 8W



典型用戶：

江蘇、浙江、廣東、湖南湖北、內(nèi)蒙古、河南等地的CZ直拉單晶及鑄錠客戶客戶。