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品牌 七星弗樂(lè)爾
產(chǎn)品類(lèi)型 高耐壓型,抗電磁干擾
流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
產(chǎn)品精度 ±1％F.S.
重復(fù)精度 ±0.2% FS
線(xiàn)性 ±0.5% F.S.
響應(yīng)時(shí)間 ≤10sec
工作溫度范圍 (5~45)°C
耐壓 10MPa
密封材料 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
輸入輸出信號(hào) (0~5)VDC
電源 ±15V
閥類(lèi)型 - 無(wú) -
溫度系數(shù) - 無(wú) -
零點(diǎn)飄移指標(biāo) - 無(wú) -
電氣連接 D sub 15 pins Male
工作壓差范圍 (0.2～0.6) MPa （10slm＜F.S.）,(0.2～0.8) MPa （F.S.≤10slm）
漏率 1×10-10atm?cc / sec He（1×10-11 Pa?m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 雙卡套1/8”(滿(mǎn)量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿(mǎn)量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,雙卡套1/4”
表面化學(xué)成分 - 無(wú) -
表面粗糙度 - 無(wú) -
抗電磁干擾 CE
重量 1Kg
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