全自動(dòng)光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品高度和傾斜度工作中解放出來，樣品對(duì)準(zhǔn)是為了保證橢偏儀測量的可重復(fù)性和精確性。已獲得專利的自動(dòng)樣品對(duì)準(zhǔn)裝置能夠顯著減少操作失誤；能夠工作于透明或反射基底；能夠進(jìn)行地貌圖測量，包括翹曲晶片。



全自動(dòng)光譜橢偏儀 - 產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 全自動(dòng)樣品校準(zhǔn)
■ 高測量速率 < 8秒
■ 消除了全波段范圍內(nèi)的盲點(diǎn)
■ 可測量透明和吸收基底
■ 高測量精度
■ 具有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能
■ 友好的軟件界面，強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析功能
■ 具有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能



光譜橢偏儀 - 技術(shù)指標(biāo)

■ 光源：氙燈
■ 光斑直徑：1-3mm
■ 入射角范圍：20°到90°自動(dòng)控制
■ 波長范圍：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°
■ 波長精度：1nm
■ 測量時(shí)間: < 8s （取決于測量模式和粗糙度）
■ 入射角度精度：0.01

光譜橢偏儀 - 可選配

■ CCD線陣列探測元件：200-850nm，350-1000nm
■ 樣品顯微鏡
■ 高穩(wěn)定性消色差補(bǔ)償器
■ 透射測量架
■ XY移動(dòng)樣品臺(tái)

光譜橢偏儀 - 典型客戶

美國，歐洲，亞洲及國內(nèi)太陽能及半導(dǎo)體客戶。